總部從廣州遷入濟(jì)南后，濟(jì)南市艾恩半導(dǎo)體科技有限公司（下稱“艾恩半導(dǎo)體”）的每一步動作，都備受行業(yè)關(guān)注。
在近日舉行的“投資齊魯 共贏未來”高質(zhì)量發(fā)展資本對接活動上，艾恩半導(dǎo)體全資子公司艾恩（山東）半導(dǎo)體科技有限公司（下稱“艾恩山東”）融資負(fù)責(zé)人田鳳嬌現(xiàn)場進(jìn)行了項目推介，并與多名投資嘉賓進(jìn)行了細(xì)致溝通。
田鳳嬌介紹，本輪融資主要用于高端離子注入機(jī)的研發(fā)投入、產(chǎn)能擴(kuò)建以及團(tuán)隊建設(shè)，計劃融資5000萬元�！百Y金將重點(diǎn)投向高能離子注入機(jī)的技術(shù)攻關(guān)和批量產(chǎn)線建設(shè)，進(jìn)一步鞏固在碳化硅等寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的先發(fā)優(yōu)勢。同時拓展國內(nèi)外市場渠道，加速產(chǎn)品迭代與產(chǎn)業(yè)化落地�！彼硎�。
艾恩山東注冊地位于濟(jì)南，成立于2023年11月，占地面積3000平方米，主要從事離子注入機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，2025年4月份開工，目前已投產(chǎn)3臺設(shè)備，投資方是艾恩半導(dǎo)體。
艾恩半導(dǎo)體成立于2023年2月，注冊資本170.95萬元，法定代表人李更蘭，2024年10月總部從廣州遷入濟(jì)南，是一家專注于芯片制造核心設(shè)備——離子注入機(jī)研發(fā)、制造的民營科創(chuàng)企業(yè)。
股權(quán)穿透顯示，艾恩半導(dǎo)體有鐘新華、廣州恩遠(yuǎn)新技術(shù)合伙企業(yè)（有限合伙）、濟(jì)南魯信新動能天使創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、廣州基聯(lián)新技術(shù)發(fā)展合伙企業(yè)（有限合伙）、山東高投毅達(dá)新動能創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）、山東省高新技術(shù)創(chuàng)業(yè)投資有限公司等11名股東。其中，鐘新華持股30.11%，為艾恩半導(dǎo)體第一大股東。
鐘新華介紹，艾恩半導(dǎo)體技術(shù)團(tuán)隊由國內(nèi)離子注入機(jī)行業(yè)領(lǐng)軍者和資深專業(yè)人士構(gòu)成，以實現(xiàn)半導(dǎo)體制造離子注入環(huán)節(jié)國產(chǎn)替代為目標(biāo)，以碳化硅離子注入機(jī)為切入點(diǎn)，致力于成為國內(nèi)離子注入機(jī)設(shè)備龍頭供應(yīng)商。公司核心團(tuán)隊擁有從特色工藝技術(shù)到硬件設(shè)計的全自研與全覆蓋的正向研發(fā)技術(shù)體系，通過光路優(yōu)化、自研AI離子源，使離子注入機(jī)的生產(chǎn)效率提高了1.5倍以上。2024年公司首臺純自研設(shè)備出貨。艾恩半導(dǎo)體未來將持續(xù)開發(fā)高制程大尺寸離子注入機(jī)，不斷拓展泛半導(dǎo)體應(yīng)用場景，面向全球成為平臺型半導(dǎo)體設(shè)備公司。
“我們以碳化硅工藝為切入點(diǎn)，已完成了適應(yīng)于碳化硅工藝的Ai 350HT型離子注入機(jī)的開發(fā)，首臺設(shè)備已經(jīng)在客戶端測試�！辩娦氯A介紹，2025年公司整體出貨2臺針對碳化硅量產(chǎn)線的AI 350HT、1臺針對8寸及以下硅基線的AI 250。大束流產(chǎn)品2025年完成研發(fā)，2026年形成商業(yè)化訂單，特種高能機(jī)預(yù)計2026年完成研發(fā)，2027年形成商業(yè)化訂單。
（大眾新聞·經(jīng)濟(jì)導(dǎo)報記者 初磊）
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